立式管式電爐公司采用化技術(shù)，自行研制開(kāi)發(fā)的高性能高節(jié)能的新型電爐，產(chǎn)品具有的合理結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用在薄膜生長(zhǎng)、電極測(cè)試、氧化物晶體生長(zhǎng)、退火等新工藝領(lǐng)域。配合真空和氣路控制組成CVD控制系統(tǒng)，用于氣相沉積法制備石墨烯。

立式單溫區(qū)1400℃管式電爐能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對(duì)樣品快速加熱和淬火，50段可編程溫度控制器。加熱爐膛有左右兩部分組成，其中上部爐膛可整體向后翻轉(zhuǎn)，方便取放、觀察實(shí)驗(yàn)物料，爐膛材料采用的多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場(chǎng)均勻。