CVD管式爐具有九大特點(diǎn),您都知道幾點(diǎn)?
更新時(shí)間:2021-04-06 點(diǎn)擊次數(shù):5661
CVD管式爐由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
本產(chǎn)品采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
應(yīng)用范圍:
CVD管式爐是一種特殊的CVD系統(tǒng),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、采用K型熱電偶測溫,測溫準(zhǔn)備;
2、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu);
3、采用石英管、兩端用不銹鋼法蘭密封;
4、取放物料過程簡化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作;
5、取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程,減少了爐管因安裝造成損壞的可能;
6、采用雙層殼體結(jié)構(gòu),內(nèi)層為不銹鋼結(jié)構(gòu),外殼為碳鋼;
7、雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能使?fàn)t體表面快速降溫,爐殼表面溫度小于60度;
8、加熱爐膛由上下兩部分組成,其中上部爐膛可整體向后翻轉(zhuǎn)110°,方便取放、觀察實(shí)驗(yàn)物料,爐膛材料采用進(jìn)口高純氧化鋁多晶體纖維材料制成,節(jié)能50%,溫場均勻;
9、加熱元件采用高電阻合金絲OCr27Al7Mo2,電阻絲位于爐膛四周,溫度均勻性高,溫場效果較好。