這些有關(guān)小型PECVD系統(tǒng)的特點(diǎn),您知道幾點(diǎn)?
更新時間:2020-06-08 點(diǎn)擊次數(shù):6336
小型PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積反應(yīng)溫度降低,普通CVD設(shè)備的沉積溫度大多在900℃左右,而在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),可以使化學(xué)氣相沉積的溫度降到400℃左右,所以這個系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。
該型號PECVD綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn),觸摸屏集中一鍵控制,實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng),使得操作更加簡便,功能更加強(qiáng)大。
產(chǎn)品用途:
小型PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
主要特點(diǎn):
1、智能氣路通斷:每路氣體均可定時通斷,自由切換,省時省力;
2、射頻功率的定時控制:預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間,自動運(yùn)行;
3、整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體:整機(jī)長度只有1.5米,移動方便,避免分散組裝的困擾。
4、AIO控制系統(tǒng):加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控,協(xié)調(diào)控制:成儀AIO控制系統(tǒng);
5、爐膛移動速度可調(diào):根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度和距離,在沉積結(jié)束后爐膛可自動移開沉積區(qū),使樣品快速冷卻;
6、管內(nèi)真空度自動平衡:管內(nèi)真空度實(shí)時監(jiān)測,自動平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1~100Pa之間,該型號PECVD的AIO控制系統(tǒng)會通過真空泵的自動啟停來維持用戶設(shè)定的管內(nèi)真空度,使成膜效果達(dá)Z佳的均勻性。